欧姆龙OMRON传感器2SMPP-03测量压力全新
超小型低功耗的MEMS测量压力传感器tion

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欧姆龙OMRON传感器2SMPP-03测量压力全新

欧姆龙OMRON数字压力传感器的历史可追溯到70多年前......欧姆龙OMRON数字压力传感器以半导体传感器的发明为标志，整个发展过程可以分为以下四个阶段：

　　1、发明阶段（1945-1960年）

　　这个阶段主要是以1947年双极性晶体管的发明为标志。此后，半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯（C.S.Smith）与1945发现了硅与锗的压阻效应，即当有外力作用于半导体材料时，其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的欧姆龙OMRON数字压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上，即将力信号转化为电信号进行测量。此阶段小尺寸大约为1cm。

　　2、发展阶段（1960-1970年）

　　随着硅扩散技术的发展，技术人员在硅的（001）或（110）晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成较薄的硅弹性膜片，称为硅杯。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点，实现了金属-硅共晶体，为商业化发展提供了可能。

　　3、商业化阶段（1970-1980年）

　　在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术，扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主，发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术，主要有V形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀，数千个硅压力膜可以同时生产，实现了集成化的工厂加工模式，成本进一步降低。

　　4、微机械加工阶段（1980年至今）

　　上世纪末出现的纳米技术，使得微机械加工工艺成为可能。通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的欧姆龙OMRON数字压力传感器，其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜，使得欧姆龙OMRON数字压力传感器进入了微米阶段

• 在－50kPa～＋50kPa的压力范围内具有优异的电气特性。
  偏置电压：－2.5±4.0mV
  量程电压：42.0±5.5mV
  (额定压力50kPa、测量电流DC100μA时)
• 长6.1×宽4.7×高8.2mm的超小型。
• 温度影响小。
  量程电压：±3.0％FS
  偏置电压：±5.0％FS
  (0～85℃、0～50kPa、测量电流DC100μA时)
• 0.2mW的低功耗。

欧姆龙OMRON传感器2SMPP-03测量压力全新

额定值/性能：

压力的种类               仪表压力
传感方式                 压电电阻式
压力介质                 空气
驱动方式                 恒定电流驱动
驱动电流                 DC100mA
压力范围                 -50～50kPa
耐压                     -80～120kPa
大驱动电流             大DC200mA
使用环境温度范围          -10～100℃(不结冰、凝露)
使用环境湿度范围         10～95％RH(不结冰、凝露)
储存环境温度范围          -40～120℃(不结冰、凝露)
保存环境湿度范围          10～95％RH(不结冰、凝露)
重量                     0.17g
注1. 上述值为23℃时测量的初始值。
注2. 请勿使用空气以外的腐蚀性气体。

部分现货型号：

E8F2-A01C 

E8F2-A01B 

E8F2-B10C 

E8F2-B10B

E8F2-AN0C 

E8F2-AN0B

E8F2-A01C 

E8F2-A01B 

E8F2-B10C 

E8F2-B10B

E8F2-AN0C 

E8F2-AN0B

E8F2-A01C 

E8F2-A01B 

E8F2-B10C 

E8F2-B10B

E8F2-AN0C 

E8F2-AN0B

琦圣达自动化设备(上海)有限公司供应：欧姆龙变频器、OMRON开关、欧姆龙温控器、欧姆龙OMRON限位开关等产品，价格实惠，部分常规型号有现货。如需采购可咨询。我将竭诚为您服务。请您询价采购时请备注贵公司营业执照抬头、连系方式；您需要的品牌型号数量发给我们。我们将按顺序*时间给您回复报价。

产品具体详见：2SMPP-03 MEMS测量压力传感器