美国Brooks布鲁克斯122 系列机械压力计
布鲁克斯仪器 122 系列机械压力计的设计和开发目的是满足半导体行业应用对高纯度的苛刻要求。设备采用不锈钢材质，特点是精度可达满量程的 1%。上述两英寸仪表属于耐用型测量设备，适用于各种 过程连接、压力范围和安装方向，可高效、可靠地进行本地压力监测。

美国Brooks布鲁克斯122 系列机械压力计

产品特点

- 高精度：精度可达满量程的1%。

- 材质优良：采用不锈钢机芯，316L不锈钢浸湿部件，300系列不锈钢外壳并经电解抛光，压力表焊接在无氧室，满足严格的清洁和安全指南。

- 设计多样：有多种过程连接方式、压力范围和插座方向，过程连接包括面密封公头、面密封旋转公头、面密封旋转母头和1/4"NPT公头。

- 安全可靠：具有400%的爆破压力和110%的耐压测试压力，配备无限制的后向泄压塞，氦气泄漏检查达到4×10⁻⁹inboard std.cc/sec。

产品规格

- 压力范围：-30英寸汞柱至4000psi。

- 显示类型：模拟显示，表盘为白色，带有黑色标记，“禁止用油"字样为红色。

- 外壳及镜片：外壳为300系列不锈钢，镜片为一体式聚碳酸酯，通过螺丝固定。

- 工作温度：温度补偿范围为20°F至135°F（-7°C至57°C），工作温度为0°F至160°F（-18°C至71°C），存储温度为-20°F至175°F（-29°C至79°C）。

应用领域

主要用于半导体加工的气体输送系统和工具，如大宗气体、气体柜、气体分配等场景。也可用于太阳能电池板制造，以及食品饮料、制药、水处理和大宗气体等领域

美国Brooks布鲁克斯122 系列机械压力计

日常维护

- 外观清洁：定期用干净柔软的布擦拭压力计外壳，去除灰尘、油污等杂质，保持其清洁光亮。避免使用有腐蚀性的清洁剂，防止损坏外壳的电解抛光层。

- 连接检查：检查过程连接部位，确保接头处无松动、渗漏。若发现密封面有杂质或损伤，需及时清理或修复，保证密封性能良好。

定期检查

- 部件检查：每隔一定时间，打开压力计外壳，检查机芯部件，如300系列不锈钢机芯、316L不锈钢波登管等，查看有无磨损、变形、腐蚀等迹象。若发现部件损坏，应及时更换原厂配件，以保证测量精度。同时，检查聚碳酸酯镜片有无划痕、裂纹，如有影响读数的情况，需进行更换。

- 精度校准：建议每年至少进行一次精度校准，或根据使用频率和重要性适当缩短校准周期。校准需使用高精度的标准压力源和测量设备，将压力计在全量程范围内进行多点校准，记录校准数据，若偏差超出1%满量程的精度范围，需对压力计进行调整或维修。

环境维护

- 工作环境监测：确保压力计在规定的温度范围内工作，温度补偿范围为20°F至135°F（-7°C至57°C），工作温度为0°F至160°F（-18°C至71°C）。避免安装在高温、潮湿、有腐蚀性气体的环境中，同时要远离振动源和强磁场，防止影响测量精度和损坏内部部件。

- 安装位置检查：定期检查压力计的安装位置是否正确，安装是否牢固。避免管道应力传递到压力计上，如有管道振动或位移，应及时进行调整和固定。

记录与文档管理

建立详细的维护记录档案，记录每次维护的时间、内容、校准数据、更换的部件等信息。这些记录有助于分析压力计的运行状况，提前发现潜在问题，同时也为后续的维修、校准和设备更新提供参考依据。