美国Brooks布鲁克斯金属密封压力控制器
压力控制器和压力表结合大量高性能技术特点，为高要求的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供了新的压力控制准确度和可靠性水平。

美国Brooks布鲁克斯金属密封压力控制器

产品特点

- 高精度控制：压力控制精度高，压力读数精度为±1% of reading，压力控制精度为±0.2% of f.s.（<10% f.s.）；±1% of reading（>10% to 100% f.s.）。

- 快速响应：响应时间小于1秒（不包括系统时间常数），能快速对压力变化做出反应，实现精准控制。

- 全金属流路：采用全金属密封流路，表面光洁度达5µinch Ra，材质符合SEMI F20 HP标准，包括316L VIM/ VAR、哈氏合金C - 22等，可确保无颗粒、水分和污染，适用于高纯度要求的工艺。

- 多气体/多量程：部分型号支持多气体/多量程功能，可存储和预编程多达10种气体校准和量程，减少库存并提高设备通用性。

- 通信与诊断功能：具备数字通信功能，支持DeviceNet™、RS485 L - protocol等通信协议，方便与其他设备集成和远程控制。同时具有独立的诊断/服务端口，便于设备评估、故障排除和维护。

产品规格

- 流量范围：PC115的流量范围为20sccm - 5slm（仅N₂和H₂），PC125的流量范围为10slm（仅N₂和H₂）。

- 压力范围：传感器压力范围为1000托（fs），压力控制范围大于2%至100%。

- 工作温度：温度范围为10 - 50°C。

- 泄漏完整性：外部泄漏率最大为1×10⁻¹⁰atm scc/sec（氦气）。

应用领域

主要应用于半导体优良蚀刻工具、薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）、物理气相沉积（PVD）系统等对压力控制精度和纯度要求高的领域

美国Brooks布鲁克斯金属密封压力控制器

日常维护

- 外观与连接检查：检查控制器外壳有无损伤、腐蚀，金属密封处有无磨损、变形，确保无泄漏。查看各连接部位，包括管道和电气连接，保证连接牢固，无松动、渗漏。

- 运行状态监测：留意控制器的运行声音，若有异常噪音，可能表示内部有部件故障。观察压力显示值是否稳定，若出现波动或异常，需及时排查原因。

定期维护

- 清洁处理：定期打开外壳，用干净软布擦拭内部电子元件、电路板上的灰尘。对于金属密封部件，可用温和的清洁剂去除油污、杂质，再用清水冲洗并擦干，避免使用腐蚀性清洁剂。

- 性能校准：每年或按使用情况缩短校准周期，使用高精度标准压力源和测量设备校准，在全量程多点校准并记录数据，偏差超范围时，需专业人员调整或送修。

- 部件检查：查看内部电子元件有无过热、烧焦、电容鼓包等损坏迹象，及时更换损坏元件。检查金属密封的阀芯、阀座等部件，有磨损、损坏时，应修复或更换原厂配件。

环境维护

- 工作环境监测：确保控制器在规定的温度、湿度范围内工作，避免在高温、潮湿、有腐蚀性气体的环境中使用，远离振动源和强磁场。

- 安装位置检查：定期检查安装位置是否正确、牢固，防止管道应力传递到控制器上，若管道有振动或位移，应及时调整固定。

记录与文档管理

建立详细的维护记录档案，记录维护时间、内容、校准数据、更换部件等信息，以便分析运行状况，为维修、校准和设备更新提供参考